以下是常見的檢驗方法及步驟：

一、常用測量工具

- 平晶：用于高精度（如0級、1級）平臺，利用光的干涉原理檢測。
- 水平儀：包括合像水平儀、框式水平儀等，通過測量傾斜角度換算平面度。
- 百分表（或千分表）：配合表座（如磁力表座）和橋板，適用于中低精度平臺。
- 激光干涉儀：高精度測量儀器，適用于大型或超高精度平臺。

二、典型測量方法（以“百分表+橋板法”為例，適用于多數(shù)場景）

1. 準備工作
- 將平臺平穩(wěn)放置在堅實基礎(chǔ)上，避免振動；待平臺溫度穩(wěn)定（與環(huán)境溫度一致）。
- 確定測量范圍：按平臺工作面尺寸劃分網(wǎng)格（如50mm×50mm或100mm×100mm），標記測量點。
2. 安裝儀器
- 將橋板（長度根據(jù)精度要求選擇，如200mm）放置在平臺上，百分表固定在橋板上，表頭垂直觸及工作面。
3. 逐點測量
- 移動橋板，使表頭依次對準各網(wǎng)格點，記錄百分表讀數(shù)（以第 一點為基準，其他點相對該點的偏差）。
- 測量時需覆蓋整個工作面，包括邊緣區(qū)域。
4. 數(shù)據(jù)處理
- 采用“小區(qū)域法”或“對角線法”計算平面度誤差：
- 小區(qū)域法：找到能包容所有測量點的小平行平面，兩平面間距即為平面度誤差（符合標準定義）。
- 對角線法：以平臺兩條對角線為基準，計算各點相對偏差，取大值與小值的差值作為誤差（操作較簡單）。

三、其他方法特點

- 平晶干涉法：將平晶貼合平臺工作面，觀察干涉條紋（如直條紋彎曲量對應(yīng)平面度誤差），精度高，但僅適用于小尺寸、高精度平臺。
- 水平儀法：通過測量各方向傾斜度，換算成高度差后計算平面度，適合大型平臺，但精度略低于百分表法。

測量結(jié)果需與平臺精度等級對應(yīng)的允許誤差（如GB/T 22095標準）對比，判斷是否合格。操作時需避免儀器自身誤差（如橋板直線度、表的示值誤差）影響結(jié)果。